本研究計畫提出跨域整合各領域之數量方法，整合不同規劃求解技術、方向距離函數、羅素測度、隨機資料、參考網路為基礎的排序方法與資料包絡分析並應用於半導體產業，預期具體貢獻如下： A.首先針對資料包絡分析法之求解問題，分為線性求解與非線性求解，區別使用時機與程式之編撰，進一步運用半導體產業效率評估，供國家政策決策單位參考。 B.解決傳統效率未考慮資料隨機性的特質，非零差額的測度，及無法考慮各輸入輸出之不同縮減度之問題，並克服上述限制，擴展隨機(Chance)資料、方向距離函數和羅素測度在網路資料包絡分析法之延伸與應用，供實證學者之參考。 C. 提供相關半導體產業競爭力分析實證數據，做為國家政策參考。
